С момента изобретения электронных ламп возникла идея использования волновых свойств электрона в проекционных приборах.
Электроны, в отличие от фотонов, отличаются высокой частотой
колебаний, что позволяет использовать их в качестве носителей информации о структуре исследуемого объекта.
В качестве источника электронов использовали катод прямого накала, на который подавалось ускоряющее напряжение до 200-250 тысяч вольт и более.
Первоначально использовались вольфрамовые катоды.
Это было начало электроонй микроскопии. В биологии с помощью ЭМ изучили структуру многих клеток и тканей.
В этот период цитология - наука о клетке перешла в качественно новый уровень, благодаря увечичению разрешения приборов.
Затем в качестве катода стали использовать другие материалы, в частности, гексобарит тантала, что увечичило термоэлектронную эмиссию и качество картинки
Увеличилось качество электроники,
лампы заменили на полупроводники.
Затем стали использовать более надежные линзы и качественные ваккумные насосы, что еще более увеличило разрешение ЭМ.
В настоящее врея ищутся новые методы увеличения разрешения ЭМ до теоретически возможного предела в 0,01 Ангстрем.