Электронные микроскопы – это приборы, подобные фотопроекторам, но в отличие от обычных проекторов, в электронных микроскопах используются электроны, вместо фотонов.
По типу устройства, электронные микроскопы подразделяют на трансмиссионные и растровые электронные микроскопы.
ТЭМ – это прибор, где пучок электронов, сфокусированный системой конденсорных электромагнитов проходит через объект, фокусируется объективными линзами, и проецируется на люминофорный экран. ТЭМ позволяют достичь высоких увеличений (до 700 000 раз и выше) и больших разрешений (до 2 ангстрем и менее), но они требовательны к толщине объекта и условиям его сохранения.
СЭМ – это микроскопы, где тонкий электронный луч сканирует поверхность объекта и создает изображение поверхности объекта. СЭМ менее требовательны к объекту, но увеличение, создаваемое при помощи СЭМ меньше, чем увеличение ТЭМ, и, кроме того, растровые микроскопы позволяют судить лишь о поверхности объекта и требовательны к материалу образца (предпочтительно – проводники).
В последние годы для исследования поверхностей стали применяться туннельные и атомно-силовые микроскопы, сканирующие поверхность объекта. Эти типы микроскопов позволяют получить картинку с «атомным» разрешением, что является на данный момент самой подробной картиной микромира.